北京浅蓝纳米科技发展有限责任公司

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属地:北京 类型:普通会员

热蒸发镀膜机

更新日期:2025-05-15
点击数:346

产品参数:

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产品详情

EV-246小型电阻蒸发镀膜机
真空腔室:1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质,氩弧焊接,上开盖和前开门结构;
真空系统:机械泵+分子泵(进口和国产可选);
极限真空:优于8✕10-5Pa(设备空载抽真空24h);
真空抽速:大气~8✕10-4Pa≤30min;
基片台:可拆卸式,尺寸60✕60mm,旋转0~20r/min可调,可加热至300℃(可选水冷功能);
蒸发源及电源:水冷铜电极3组,逆变式蒸发电源,功率2KW,配源间防污隔板;
膜厚监控仪:采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;
控制方式:PLC+触摸屏控制系统,具备漏气自检与提示、通讯故障,实现一键抽停真空;
整机尺寸:L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架,预留1个CF35法兰接口。

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